반도체 제조시설 자료 정리 2

반도체 제조시설 자료 정리 2

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반도체 제조시설 자료 정리 2번째 글이다.
아무리 봐도 부족하네..
당시에 열심히 할 때 잘 자료를
만들어놨어야 했는데 하는 아쉬움이 있다.
앞으로는 좀 더 미리미리 움직여야겠다.

2번째 글도 내 뇌피셜에 따라 정리를 해보겠다.

클린룸 개념도
반도체 공장의 클린룸의 구성은 아래와 같다.
클린룸으로 깨끗한 공기를 불어주고 그 안에서 각종 장비를 활용해서 생산을 한다.
반도체 생산에 방해가 되는, 불량품이 나오게 하는
부유입자, 미세먼지등을 필터로 여과하는 등 제어를 하는 공간이다.
깨끗한 공기로 계속 순환시키면서 청정도를 유지한다. 온도와 습도도 조절하는 듯.
여러 종류가 있는데 보통 산업용클린룸과 바이오클린룸이 있다.

클린룸의 청정도를 나타내는 용어로 클래스가 있다.
삼성반도체이야기 내용에 따르면 클래스는 뒤에 숫자를 표기해 청정 환경 관리 정도를 등급으로 나타낸다고 한다.
가로, 세로, 높이 1피트 안에 있는 0.5㎛ 크기 이상의 먼지 개수를 뜻한다고 한다.
클래스 1은 그 안에 머리카락 직경의 1/1000크기 정도의 먼지 하나가 존재하는 것이라고 비유한다.

실제로 들어가면 엄청 시원하고 깨끗하다.
보통 반도체 클린룸은 굉장히 넓다.
(클린룸만 보통 만평기준으로 봤었다.)
그래서 모든 공간을 동일한 클래스로
유지하지는 않는 것 같고
부분부분 필요에 따라 조절하고 있는 것으로 보인다.

아래는 클린룸과 전반적인 제조공장의 형태이다.
중간에 좀 가렸다. ㅎㅎ
옥상은 또 보여야 할 것 같아서..ㅋㅋ
클린룸을 사이에두고 양쪽으로 유틸리티공간이 들어간다.
기계설비, 전기실, 자동제어, 유틸리티 배관 등과 관련된 공간이 필요하다.
냉수, 온수, 초순수, 각종 산 알칼리 용액 등등 많은 물질들이 오고가는 공장이다.
과정에서 나온 불순물 이라고 하나 그런 기체 등도 몇차례 스크러버를 거쳐 외부로 나간다.
건물 위로도 상당히 뭔가 많이 올라가야된다.

요새는 어떤지 잘 모르겠네..
많이 발전해서 더블팹이 아니고 트리플팹도 나온다던데..대단하다.
나도 그 방면으로 전문가가 되고 싶었는데..ㅠㅜ
아쉽군.

1층은 각종 클린룸 장비를 위한 장비들이 들어가고
2층에 에어플레넘은 주로 공기 층이다.
3층은 클린룸, 반도체 제조공간이다.
그 위에도 더블팹으로 동일한 공간이 올라가는 경우가 많다.
위에도 썼듯이 이젠 팹이 3개까지도 올라간다고 한다. 대단함..ㅋ

3층 바닥은 일부 타공 악세스플로어가 있고
밑으로 격자보가 있으며
공기가 FFU를 활용하여 위에서 아래로 불어나가게끔 되어 있다.
아래 바닥 상세도 사례이다.
타공 악세스플로어 위치로도 뭔가 기류와 청정도 그런 것들을 조절하는 것 같다.
단면의 천장과 바닥 도면 그리는게 아주 재밌던 때가 있었는데...기억도 안난다. ㅠ

사진을 보면 아주 넓다. 클린룸은 매우 넓다.
왼쪽은 포스트용 빔만 설치된 것 같고
오른쪽은 바닥은 깔고 위에 보양해놓은 사진으로 보인다.

내가 경험했던 반도체 제조시설은
메인 FAB을 중심으로 많은 부속시설들이 위치하는 것이 대부분이었다.
유틸리티 관련 건물과 수처리장, 변전소 등이 있고 각종 창고가 필요하다.
직원수가 제법 많기 때문에 오피스와 복지동(식당) 등이 필요하다.
그에 따라 주차장과 버스 주차장 등도 필요하다. 직원동선과 물류동선도 분할이 필요하다.
여기에 좀 더 규모가 커지면 기숙사도 고려해봐야한다.
이렇게 보면 FAB이나 CUB 건물의 확장성이 별로 안보이는데 그것도 잘 고려하면 좋을듯.
얘는 단순한 것이고 중국은 보면 땅이 넓어서 그런가 옆에 두번째 세번째 건물 땅도 미리 고려하는 경우가 있었다.
단지로 놓고 보면 도로 폭, 건물별 이격거리도 잘 고려를 해야된다.

이 단지 모델 만들기 시작할 때부터가 재밌어질 타이밍이었다.
이렇게 타입을 만들고 중국에서 두군데의 커다란 반도체 제조시설을 경험할 수 있었다.
(한군데가 더 있었는데 그건 그냥 실제 일은 못했음..계획만..ㅋ 근데 비슷하게 지어지는 듯..;;)
단지 계획을 하고 일부 건물 설계도 같이 했는데
다양한 시설과 법규 등의 사이에서 고민하는 것도 재밌고
세부적인 건물의 요구사항 적용하고 도면화 하는 것도 재밌었다.
(중국)현장에서 주말도 없이 매일매일 일해도 지치지도 않고 그랬는데 이미 오래된 얘기가 됐다.

30대 업무시간의 절반을 저 일을 위해 시간을 보냈는데...남는게 뭔가 없는 것 같아 슬프다.ㅜㅜ
이렇게 금방 잊어버리고 생각 안나고 할 줄은 몰랐네. 글로 적으려니깐 더 어렵다.
그렇게 하고 싶었던 일을 하고 있었는데 결국 다른 길로 넘어왔다.
후회는 없지만 미련은 남는건가..ㅎㅎ

다음번엔 공장의 일부 실에 대한 용어 설명을 적어놔야겠다.